设计：

车间温度、湿度、洁净度指标（参考）

车间洁净区的温度为：25℃±2℃，湿度30%~60%，洁净度超净为：10万级。更衣室、风淋间、冷却间、工件架擦拭、工件架清洗采用10万级送风，排风采用直排。退火间、冷却间的温度应控制在30℃以下，湿度应≤65%。

车间工艺用冷却循环水使用单独的制冷设备，工艺冷却水在往设备供水时应保证供水的水温在17~21℃。

净化送风风口以及非净化送风风口位置要求：净化区风口与非净化区风口除PECVD外没有特殊要求，只要能满足温度及湿度的要求即可。PECVD风口要求：送风口不得直吹PECVD沉积室及预热炉，回风口不得安排在室外，冬季排入泵房内，以保护泵房内的管道及设备。

空调回风过滤要求：空调送风是10万级的，经过与超净间内部空气的接触，整个回风中会携带大量细小粉尘回到空调主风箱中而污染主风箱过滤网，因此在所有的空调回风口都需要安装过滤网。

排风要求：退火间、冷却间、工件架擦拭间、工件架清洗间、车间门口换鞋区都应采取单独排风系统。送风方式采用底侧送风，顶部排风的气流组织设计。同时注意把握排风量的准确性，最好与厂家落实，以便不要排风过大或过小。

各区域设计风量平衡和制冷量时需结合各区域内的工艺设备的排风以及各设备的功率、散热量。例如：PECVD区域、冷水间、退火区的散热量很大，换气次数必须提高；激光扫边机、清洗机数量多排风总量高，设计时考虑新风补充量。

风管长边边长小于等于1250mm的，采用共板法兰风管制作方式，搞笑送风与风管的连接采用铝箔保温金属软管连接。

冷水机组的冷冻水进出采用分水器和集水器，PECVD区域考虑冬季需要提供制冷，其他区域需要采用供暖。

施工：

风管制作采用角钢法兰风管和共板法兰风管相结合的制作方式。风管长边边长小于等于1250mm的采用共板法兰风管制作，与高效送风口连接的采用铝箔保温金属软管连接，从而缩短风管制作及安装时间。风管总安装制作人数不低于70人。（工期按60天算）

规格大的风管吊装时采用两台升降机配合安装，减少吊装时间；技术夹层内的通风设备采用升降顶板上的作业，保护顶板的强度。技术夹层内水管需要在未吊顶前连接完毕。避免焊渣掉落到顶板上引起安全事故，减少在顶板上的作业保护顶板的强度。

技术夹层的水管打压试验需在工艺设备为安装就为前完成，避免管道漏水滴落到工艺设备上（工艺设备造价高，遇水已损坏）

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